無源零差偏振激光干涉儀的誤差研究

全部作者： 楊軍 吳冰 劉志海 苑立波 第1作者單位： 哈爾濱工程大學(xué)理學(xué)院 論文摘要： 基于偏振光的瓊斯矩陣?yán)碚�，研究了用于納米測(cè)量的偏振干涉儀的誤差產(chǎn)生原因和作用機(jī)理，目的是為偏振干涉儀光學(xué)元件的選擇、光路的調(diào)整及其誤差的補(bǔ)償提供依據(jù)。理論研究表明，由于元件性能的不理想和調(diào)整的不完善使光束偏振態(tài)產(chǎn)生退化是導(dǎo)致干涉儀測(cè)量誤差的主要原因，其中以波片的.差模延遲角誤差最為明顯�；�于偏振移相技術(shù)的無源0差激光干涉儀其特征是輸出4路相互正交的干涉信號(hào)。利用此特點(diǎn)，通過對(duì)元件的嚴(yán)格篩選和精細(xì)調(diào)整，并且選用差動(dòng)信號(hào)處理方案，以使干涉儀滿足納米測(cè)量的要求。 關(guān)鍵詞： 激光；偏振干涉；正交信號(hào)；誤差 (瀏覽全文) 發(fā)表日期： 2006年07月07日 同行評(píng)議：

1. 引言，郭彥珍等人討論0差干涉儀誤差的情況[12]，但沒有分析時(shí)沒有考慮采用偏振移相技術(shù)的4路接收裝置。（語句修改） 2. 偏振激光干涉儀被消偏振分光棱鏡NPBS 均勻的分成兩束 （這里NPBS 應(yīng)為非偏振分光棱鏡）。 3. 偏振片誤差分析，圖4 所示為ε P 、α P 、δ 分別連續(xù)變化時(shí)干涉儀的誤差函數(shù) f（ Δφ ,δ ,α P ,ε P ）的特性。（這里圖4應(yīng)改為圖5）。 此外，誤差分析討論中，若能增加對(duì)基于偏振移相技術(shù)的4路接收方案與其它技術(shù)或其它方案的比較可能更充實(shí)。

綜合評(píng)價(jià)： 修改稿： 注：同行評(píng)議是由特聘的同行專家給出的評(píng)審意見，綜合評(píng)價(jià)是綜合專家對(duì)論文各要素的評(píng)議得出的數(shù)值，以1至5顆星顯示。

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